日本 Simco 思美高 91-5635M-850-50 离子器

日本  Simco 思美高  91-5635M-850-50  离子器

5635型气压柱MP离子器是一款超低颗粒兼容产品，专为需要100纳米以下微颗粒管理的领域（如先进半导体制造工艺）实现电气消除而开发。

单晶硅电极在全球范围内被广泛采用且具有超低颗粒特性，避免了电极材料引起的金属污染风险

 独特的脉冲调制（MP）方法使离子传输高效到具有高静电去除性能的靶材

输入电压 24V 直流 +/-10%

输出电压 最高可调节约13.5kV p-p。

设置距离 100mm~1000mm（无空气净化）

离子生成方法 电晕放电方法：

MP（脉冲调制）方法：调制频率：1 ~ 33 Hz

离子平衡 自动平衡调节方法

：<+/-10V电压内，位于杠铃正下方，位置差异：<+/-10V

（600毫米距离）

电极 单晶硅电极可更换